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- CLEANROOM의 분야별등급 (Cleanlinesslevel)
- 연방기준 209E 개요
FED-STD-209D 개요
연방 기준(FederalStandard)209D는 최근까지 대부분의 클린룸에 대한 기본적인 검증서였다.
FS 209E에 앞서 근래의 FED-STD-209D에 대해 살펴 보겠다.
표 1은 209D에서 명시된 6가지 표준클래스 -100,000/10,000/1,000/100/10/1 - 를 보여준다.
| 클래스 |
측정 입자 크기 (㎛)
|
|
0.1
|
0.2
|
0.3
|
0.5
|
5
|
|
1
|
35 |
7.5 |
3 |
1
|
NA |
|
10
|
350 |
75 |
30 |
10
|
NA |
|
100
|
NA |
750 |
300 |
100
|
NA |
|
1,000
|
NA |
NA |
NA |
1,000
|
7 |
|
10,000
|
NA |
NA |
NA |
10,000
|
70 |
|
100,000
|
NA |
NA |
NA |
100,000
|
700 |
- 모드검증
209D에서와 마찬가지로 처음 입증은 3가지조건 중 하나 (또는 그 반대의 조건)에 대해서이다.
209D와 달리 209E에서는 검증된 클린룸 조건을기록하는 것이 필수적이다. 이러한 상태를 다시 살펴보면
| As - built |
클린룸(설비)이 완성되어 동작하기에 준비된 상태로, 모든 부대시설이 연결되어 동작되지만 생산장비나 설비내 사람이 없는 경우이다. |
| At - rest |
클린룸(설비)이 완성되어 생산장비가 설치, 가동되지만 설비내 사람이 없는 경우이다. |
| Operational |
클린룸(설비)이 정상적인 가동상태로, 모든 부대시설이 동작하고 생산장비와 사람이 있어 정상적인 작업을 수행하고 있는 경우이다. |
"Operational" 클린룸에 대한 조건에 유의해야 한다.
모든 부대시설이 동작하고, 모든 생산장비가 가동되고, 모든 사람이 입실하여 모든 사람들이 정상적인 작업을 하는 것이다.
조금 덜한 것이 "At-rest" 검증이다.
이는 클린룸 검증에서 가장 위반되어지는 조건이다.
위의 모든 조건들이 맞지 않는다면 "Operational" 클린룸의 특정한 청정도가 필요하지 않지만 , National Enviromnental Balancing Bureau(NEBB) 자격의 검증인들은 고객들에게 "Operational" 조건보다 덜한 세부적인검증을 설명하도록 교육 받는다는 생각은 그만 두기를 바란다.
